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Katalog der UB Siegen
/ imt /
 

Institut für Mikrosystemtechnik

HEpecvd2 

Lehrstuhl Halbleiterelektronik

boehm2Prof. Dr. Markus Böhm
Universität Siegen, 57068 Siegen
Gebäude E, 1. Stock, Sekr. H-E 114
Tel.: 0271-740-3294
Fax: 0271-740-4512
markus.boehm@uni-siegen.de
MSEwafer2 

Lehrstuhl Mikrosystementwurf

brueck2
Prof. Dr. Rainer Brück
Universität Siegen, 57068 Siegen
Gebäude H, 6. Stock, Sekr. H-C 6328
Tel.: 0271-740-2377
Fax: 0271-740-2473
rainer.brueck@uni-siegen.de
ASlars2_2
 

Lehrstuhl Analoge Schaltungstechnik

ehrhardt2Prof. Dr. Dietmar Ehrhardt
Universität Siegen, 57068 Siegen
Gebäude E, 3. Stock, Sekr. H-E 307/1
Tel.: 0271-740-4766
Fax: 0271-740-3387
dietmar.ehrhardt@uni-siegen.de
Das Institut für Mikrosystemtechnik ist beteiligt am Center for Microchemistry, Nanochemistry and Engineering (Cµ).