..
Suche

Personensuche
Veranstaltungssuche
Katalog der UB Siegen

Forschungsvorhaben

In diesem Forschungsgebiet wird die Realisierung eines elektroakustischen Wandlers in einem Standard-CMOS-Prozess angestrebt. Der Wandler ist als mikro-elektro-mechanisches System (MEMS) ausgeführt und kann zur Emission oder Detektion von akustischen Wellen eingesetzt werden. Die akustische Wandlung basiert auf dem Piezo-Effekt und findet unter Ausnutzung der kristallographischen Eigenschaften von Siliziumdioxid statt. Durch die Realisierung als MEMS kann der Wandler auch als schwingungsstabilisierendes Element in Oszillator-Schaltungen on-chip integriert werden. Applikation bieten sich demnach in der integrierten Schaltungstechnik, sowie im Bereich der sonographischen Diagnostik, Distanzmessungen, Materialuntersuchungen an.