Environment for Design and Verification of MEMS Fabrication Processes WAGENER, A.; POPP, J.; HAHN, K.; BRÜCK, R.; ORTLOFF, D.: Environment for Design and Verification of MEMS Fabrication Processes. In: Proceedings Micro Systems Technologies, München 2005. – MST2005
MEMS fabrication process management environment POPP, J. ; SCHMIDT, T. ; WAGENER, A. ; HAHN, K.: MEMS fabrication process management environment. In: Proceedings of SPIE: Micromachining and Microfabrication Process Technology X, San Jose Bd. 5715, 2005. – Photonics West 2005
Computer-Based Process Design Support for MEMS WAGENER, A., POPP, J., SCHMIDT, T. und HAHN, K.: Computer-Based Process Design Support for MEMS. In Technical Proceedings of the 2005 NSTI Nanotechnology Conference and Trade Show, Volume 3, Anaheim 2005 - MSM 2005
Constraint-based approaches for MEMS and analog-mixed-signal design WAGENER, A., HAHN, K., POPP, J. und SCHMIDT, T.: Constraint-based approaches for MEMS and analog-mixed-signal design. In Proceedings of the 12th International Conference on Mixed Design of Integrated Circuits and Systems, Krakau 2005 - MIXDES 2005
Simulation of Fabrication Processes for MEMS using a Cellular Automata Approach SCHMIDT, T., POPP, J., WAGENER, A. und BRÜCK R.: Simulation of Fabrication Processes for MEMS using a Cellular Automata Approach. Tagungsband Grid-Technologie für den Entwurf technischer Systeme (GRID4TS). Dresden, 2005.
CAD Tool Environment for MEMS Process Design Support SCHMIDT, T., WAGENER, A., POPP, J., HAHN, K. und BRÜCK, R.: CAD Tool Environment for MEMS Process Design Support. In Proceedings of SPIE: Smart Sensors, Actuators, and MEMS II, Volume 5836, Sevilla 2005
Fertigungsnahe Entwurfsunterstützung für die Mikrosystemtechnik WAGENER, Andreas: Fertigungsnahe Entwurfsunterstützung für die Mikrosystemtechnik. Dissertation, Universität Siegen, Siegen 2005
Ein Konzept für die Datenhaltung in der fertigungsnahen Mikrosystemtechnik POPP, Jens: Ein Konzept für die Datenhaltung in der fertigungsnahen Mikrosystemtechnik. Dissertation. Universität Siegen, 2005
Knowledge-based process simulation and design system for MEMS Popp, J. and Schmidt, T. and Wagener, A. and Hahn, K. and Brück, R. and Hössinger, A., Proceedings of SPIE: Microelectronics: Design, Technology, and Packaging II, Brisbane, 6035, SPIE Brisbane 2005
Prozessmanagement – der Schlüssel zur Entwurfsautomatisierung in der Mikrosystemtechnik Brück, R.; Hahn, K.; Popp, J.; Schmidt, T.; Wagener, A.: Prozessmanagement – der Schlüssel zur Entwurfsautomatisierung in der Mikrosystemtechnik. In: Mikrosystemtechnik Kongress 2005, VDE Verlag, 2005. – ISBN 3800729261, S. 665–668
