Mikrosystementwurf - Fertigung
Inhalt
Moderne Mikro- und Nanofertigungsverfahren umfassen neben der aus der Mikroelektronik bekannten Siliziumtechnologie eine Vielzahl anderer Fertigungsverfahren, die je nach Zielanwendung genutzt werden können. Im Rahmen dieser Veranstaltung sollen die bekanntesten und aus praktischer Sicht wichtigsten dieser Fertigungstechnologien vorgestellt werden. Dies umfasst neben einer ausführlichen Erläuterung der speziellen technologischen Aspekte, die für nichtelektronische Bauteile in der Siliziumtechnik zum Einsatz kommen, die Technologieklassen LI-GA-Technik, Lasertechnik, spezielle Techniken aus der Feinwerktechnik. Abschließend wird ein kurzer Einblick in die Nanotechnik gegeben, um deren Gemeinsamkeiten, aber auch Unterschiede zur Mikrotechnik zu zeigen.
Das Modul umfasst neben den theoretischen Teil, der mit jeweils 2 Doppelstunden pro Woche in der ersten Semesterhälfte stattfindet einen praktischen Tei, der sich mit der Erstellung einer technischen Machbarkeitsstudie zu einem konkreten Mikrosystembeispiel befasst. Dieser praktische Teil findet in seminarischer Form in der zweiten Semesterhälfte statt.
- Mikrosysteme und Mikrostrukturen
- Silizium basierte Mikrotechnik
- Klassische Fertigungsverfahren in der Mikrotechnik
- Spezielle Mikrostrukturierungsverfahren
- Grundlagen der Nanotechnik
- Mikrosystemtechnik am Lehrstuhl Mikrosystementwurf
- Perspektiven Ausblick
- www.moodle.uni-siegen.de
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Dr. Michael Wahl
Dozent
Leistungspunkte
5