PROMENADE

Im Rahmen eines EU-Projekts wurde am Institut für Mikrosystemtechnik das System PROMENADE entwickelt. Unter den Projektpartnern befinden sich unter anderem die Firmen Bosch und Silvaco, IMEC in Leuven, sowie die Universität Cambridge und die TU Wien.

Ziel des PROMENADE-Systems ist die Entwicklung einer Prozessdesign- und simulationsumgebung, die zusätzlich das Tracking von Prozessausführungen erlaubt. Dabei geht man von einem nebenläufigen Struktur-/Prozessentwurfsmodell aus. Alle Prozessentwurfsdaten sind in einem Datenbanksystem persistent gespeichert. Dem Benutzer stehen verschiedene Werkzeuge wie Prozesseditoren, Konsistenzprüfer für Prozessabläufe etc. zur Verfügung. Es existieren außerdem Schnittstellen zu Prozesssimulationsprogrammen (TCAD), z.B. von der Firma Silvaco. Der Schwerpunkt der PROMENADE-Aktivitäten liegt damit auf Seiten der Prozesscharakterisierung und der Prozessdatenverwaltung.